PRODUCT CLASSIFICATION
高溫箱式真空氣氛爐怎么使用1準(zhǔn)備工作
a,檢查電源線接觸是否良好
b,檢查連接線是否正常
c,檢查冷卻水是否正常
d,檢查密封性是否正常
e,準(zhǔn)備所需工具:無塵紙、*、帆布手套、作業(yè)手套、口罩、耐高溫手套、石墨推車、不銹鋼托盤
2開爐
a,打開主電源開關(guān)
b,向爐體充氬氣至大氣壓,打開爐體前門,取下石墨蓋板
c,將輸送車開關(guān)打至OUT,依次操作UP-FORWARD-UP-BACK-DOWN按鈕,取出。石墨坩堝,依次放置于石墨推車上輸送車開關(guān).
d,清爐清理爐膛內(nèi)壁、石墨件及保溫材料上的污物
3裝料
a,將石墨坩堝放置于輸送車平臺(tái)上,使用限位桿確定其位置,依次裝入硅料。
b、拔出限位桿,輸送車開關(guān)打至IN,依次操作UP-FORWARD-BACK-DOWN,將坩堝裝入爐膛內(nèi),并確定輸送車會(huì)到初始位置。
c、裝入石墨蓋板,擰緊石墨螺栓,關(guān)緊爐門
4抽氣
a、檢查爐門是否關(guān)緊,真空系統(tǒng)是否密封
b、置DP按鈕于DPON,打開干式真空泵,打開真空計(jì)開關(guān)P1G1,打開干式真空泵。閥門,開始抽氣測(cè)試泄漏率,
c、當(dāng)壓力表指示為50Pa是關(guān)閉真空泵閥門(非真空泵)露鋁≤1Pa/min,打開氬氣閥門充氬氣(20L/min)。
加熱先打開水環(huán)泵再按RUN,開始工藝加熱。
冷卻
a、加熱結(jié)束后,按工藝條件進(jìn)行冷卻;
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